В технике термического напыления пленок известен ряд приемов, обеспечивающих получение заданного состава пленок. В методах ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Гольцман Б.М. Пленочные термоэлементы физика и применение


В технике термического напыления пленок известен ряд приемов, обеспечивающих получение заданного состава пленок. В методах быстрого испарения небольшая порция шихты интенсивно разогревается, полностью испаряется и конденсируется на подложке за время, намного меньшее, чем продолжительность формирования пленки. В этих условиях отклонение состава пленки от состава шихты может быть связано только с реиспарением материала пленки и загрязнениями из внешней среды и подложки. Это отклонение, как правило, менее значительно, чем отклонение, связанное с откачкой легколетучих составляющих материала шихты в вакуумную систему при медленном непрерывном испарении, и легче поддается контролю. К методам быстрого испарения, нашедшим применение в технологии пленок термоэлектрических материалов, относятся испарение измельченной шихты на испарителе, мгновенно нагреваемом до высокой температуры, в том числе дискретное испарение шихты, поступающей небольшими порциями, а также распыление шихты лазерным импульсом.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

В технике термического напыления пленок известен ряд приемов,  обеспечивающих получение заданного состава пленок.  В методах быстрого испарения небольшая порция шихты интенсивно разогревается,  полностью испаряется и конденсируется на подложке за время,  намного меньшее,  чем продолжительность формирования пленки.  В этих условиях отклонение состава пленки от состава шихты может быть связано только с реиспарением материала пленки и загрязнениями из внешней среды и подложки.  Это отклонение,  как правило,  менее значительно,  чем отклонение,  связанное с откачкой легколетучих составляющих материала шихты в вакуумную систему при медленном непрерывном испарении,  и легче поддается контролю.  К методам быстрого испарения,  нашедшим применение в технологии пленок термоэлектрических материалов,  относятся испарение измельченной шихты на испарителе,  мгновенно нагреваемом до высокой температуры,  в том числе дискретное испарение шихты,  поступающей небольшими порциями,  а также распыление шихты лазерным импульсом.