Установлено [42, 43], что аморфизация эпитаксиальных пленок кремния на сапфире методом ионной имплантация с последующей ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Вавилов В.С.
Дефекты в кремнии и на его поверхности
Установлено [42, 43], что аморфизация эпитаксиальных пленок кремния на сапфире методом ионной имплантация с последующей рекристаллизацией и применением термического и лазерного отжигов уменьшает концентрацию структурных дефектов.
![Установлено [42, 43], что аморфизация эпитаксиальных пленок кремния на сапфире методом ионной имплантация с последующей рекристаллизацией и применением термического и лазерного отжигов уменьшает концентрацию структурных дефектов.](/pic/1275429EOCESH50010261431.png)