Прежде чем переходить к описанию свойств эпитаксиальных пленок кремния рассмотрим результаты Катаока [235], который подробно ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Эпитаксиальные пленки
Прежде чем переходить к описанию свойств эпитаксиальных пленок кремния рассмотрим результаты Катаока [235], который подробно изучил характеристики поликристаллических конденсатов.
![Прежде чем переходить к описанию свойств эпитаксиальных пленок кремния рассмотрим результаты Катаока [235], который подробно изучил характеристики поликристаллических конденсатов.](/pic/1305908XjF0jOU0016261431.png)