Они предположили, что распыление атомов происходит в результате только первого столкновения падающего иона. Все же ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 1
Они предположили, что распыление атомов происходит в результате только первого столкновения падающего иона. Все же последующие столкновения происходят уже на такой глубине в мишени, что не приводят к актам распыления. Коэффициент распыления полагался пропорциональным энергии, переданной при первом столкновении и обратно пропорциональным величине, которую они назвали длиной свободного пробега. Фактически это параметр, введенный для учета энергетической зависимости среднего пути, проходимого в мишени налетающим ионом до его первого столкновения.
