В наиболее простом классическом случае ионное распыление производят в тлеющем разряде с помощью диодной системы. - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Иванов-Есипович Н.К. Физико-химические основы производства радиоэлектронной аппаратуры


В наиболее простом классическом случае ионное распыление производят в тлеющем разряде с помощью диодной системы.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

В наиболее простом классическом случае ионное распыление производят в тлеющем разряде с помощью диодной системы.