Схема с изолированным источником плазмы - схема ионно-плазменного распыления, при которой плазма генерируется в ионизационной ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пятин Ю.М.
Материалы в приборостроении и автоматике
Схема с изолированным источником плазмы - схема ионно-плазменного распыления, при которой плазма генерируется в ионизационной вспомогательной камере, откуда сформированный сильным магнитным полем узкий ионный пучок ее диффундирует в главную распределительную камеру с расположенной в ней мишенью, имеющей потенциал, достаточный для ускорения ионов до энергий, необходимых для распыления материала мишени.
