Триодная схема с постоянным потенциалом на мишени - схема ионно-плазменного распыления, при которой мишень из ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пятин Ю.М.
Материалы в приборостроении и автоматике
Триодная схема с постоянным потенциалом на мишени - схема ионно-плазменного распыления, при которой мишень из распыляемого материала находится под постоянным отрицательным потенциалом относительно потенциала плазмы. Распыленные атомы осаждаются на подложку, расположенную параллельно мишени.
