Ионно-плазменное распыление с плаз-мо-химическим источником типа Радикал - разновидность ионно-плазменного распыления с изолированным источником плазмы, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пятин Ю.М.
Материалы в приборостроении и автоматике
Ионно-плазменное распыление с плаз-мо-химическим источником типа Радикал - разновидность ионно-плазменного распыления с изолированным источником плазмы, при котором в плазму источника вводится химическое соединение, участвующее в процессе формирования физической структуры.
