Выдержка из книги
Гольцман Б.М.
Пленочные термоэлементы физика и применение
Так, в [56] исследуемые пленки висмута толщиной 20 - 160 нм были разделены прослойками моноокиси германия толщиной 2 - 3 нм. Недостатком методик [55, 56] является возможное несоответствие структуры исследуемого материала в многослойной структуре и в одиночной пленке на подложке, а также возможность присутствия размерных эффектов в многослойных структурах.