Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 1
Различным методам, основанным на измерениях сил, действующих либо на мишень [64], либо на коллектор [72, 73], а также калориметрическим методам, в которых измеряется увеличение температуры подложки, вызванное приходом на нее распыленных атомов, вероятно, также присущи систематические ошибки, и мы не будем здесь рассматривать их более подробно.