Различным методам, основанным на измерениях сил, действующих либо на мишень [64], либо на коллектор [72, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 1


Различным методам, основанным на измерениях сил, действующих либо на мишень [64], либо на коллектор [72, 73], а также калориметрическим методам, в которых измеряется увеличение температуры подложки, вызванное приходом на нее распыленных атомов, вероятно, также присущи систематические ошибки, и мы не будем здесь рассматривать их более подробно.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Различным методам,  основанным на измерениях сил,  действующих либо на мишень [64],  либо на коллектор [72, 73],  а также калориметрическим методам,  в которых измеряется увеличение температуры подложки,  вызванное приходом на нее распыленных атомов,  вероятно,  также присущи систематические ошибки,  и мы не будем здесь рассматривать их более подробно.