Интересные возможности связаны с применением нитрида кремния благодаря тому, что его пленки являются хорошим диффузионным ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 2
Интересные возможности связаны с применением нитрида кремния благодаря тому, что его пленки являются хорошим диффузионным барьером для примесей, которые могут воздействовать на приборы.
