Смесь трех газов вводится в поток транспортирующего газа водорода после источника Ga. Газообразный НС1 над жидким галлием дает летучий монохлорид галлия - один из реагентов, необходимых для образования тройного соединения AlnBv. Легирование, необходимое для получения проводимости р-типа, осуществляется введением паров Zn в - реакционную зону.
