Наиболее перспективными для создания сверхвысокого вакуума в специальной высокотемпературной металлографической аппаратуре являются гетеро-ионные насосы, в ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Лозинский М.Г.
Тепловая микроскопия материалов
Наиболее перспективными для создания сверхвысокого вакуума в специальной высокотемпературной металлографической аппаратуре являются гетеро-ионные насосы, в которых поглощающая поверхность создается напылением химически активного металла, например титана, образующего устойчивые соединения с большинством газов, находящихся в откачиваемом объеме. Инертные газы, не взаимодействующие с титаном, удаляются с помощью небольшого вспомогательного насоса или путем ионной откачки.
