Пленочные проводник получают термическим испарением в вакууме тонкого слоя золота с адгезионным подслоем хрома при ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Высоцкий Б.Ф. Основы проектирования микроэлектронной аппаратуры


Пленочные проводник получают термическим испарением в вакууме тонкого слоя золота с адгезионным подслоем хрома при последующем наращивании гальванической меди, защищаемой золотым покрытием. Общая толщина проводника такой многослойной структуры составляет не менее 10 мкм.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Пленочные проводник получают термическим испарением в вакууме тонкого слоя золота с адгезионным подслоем хрома при последующем наращивании гальванической меди,  защищаемой золотым покрытием.  Общая толщина проводника такой многослойной структуры составляет не менее 10 мкм.