Пленочные проводник получают термическим испарением в вакууме тонкого слоя золота с адгезионным подслоем хрома при ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Высоцкий Б.Ф.
Основы проектирования микроэлектронной аппаратуры
Пленочные проводник получают термическим испарением в вакууме тонкого слоя золота с адгезионным подслоем хрома при последующем наращивании гальванической меди, защищаемой золотым покрытием. Общая толщина проводника такой многослойной структуры составляет не менее 10 мкм.