В компьютерных фазовых ЛСМ с интерферометри-ческой регистрацией микрорельефа поверхности, оснащенным прецизионным пьезоприводом, достигнута чувствительность порядка ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Клюев В.В. Неразрушающий контроль и диагностика


В компьютерных фазовых ЛСМ с интерферометри-ческой регистрацией микрорельефа поверхности, оснащенным прецизионным пьезоприводом, достигнута чувствительность порядка 1 нм к перепадам высот микронеровностей при латеральном ( в плоскости образца) разрешении порядка 1 мкм.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

В компьютерных фазовых ЛСМ с интерферометри-ческой регистрацией микрорельефа поверхности, оснащенным прецизионным пьезоприводом, достигнута чувствительность порядка 1 нм к перепадам высот микронеровностей при латеральном ( в плоскости образца) разрешении порядка 1 мкм.