Однако скорость откачки была резко различна для разных газов. Газы, хорошо поглощаемые титаном ( Н, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Гапонов В.И. Электроника Часть 2


Однако скорость откачки была резко различна для разных газов. Газы, хорошо поглощаемые титаном ( Н, О, N), давали скорость откачки 6500 - 8000 л / сек при р 10 - е мм рт. ст., в то время такие газы как Аг и Не давали скорость откачки меньше 10 л / сек. Сетки описанного выше насоса покрываются слоем Ti. Поэтому в конструкции насоса, описанного М. И. Виноградовым, в качестве ионизатора применен не имеющий сеток магнетрон особой конструкции, позволяющий получить в рабочем пространстве большую концентрацию электронов, ДВИЖУЩИХСЯ по удлиненным траекториям. Этот насос давал предельное разрежение 3 10 - мм рт. ст. и скорость откачки ( по водороду) до 5000 л / сек.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Однако скорость откачки была резко различна для разных газов.  Газы,  хорошо поглощаемые титаном ( Н,  О,  N),  давали скорость откачки 6500  -  8000 л / сек при р 10 - е мм рт. ст.,  в то время такие газы как Аг и Не давали скорость откачки меньше 10 л / сек.  Сетки описанного выше насоса покрываются слоем Ti.  Поэтому в конструкции насоса,  описанного М. И. Виноградовым,  в качестве ионизатора применен не имеющий сеток магнетрон особой конструкции,  позволяющий получить в рабочем пространстве большую концентрацию электронов,  ДВИЖУЩИХСЯ по удлиненным траекториям.  Этот насос давал предельное разрежение 3 10 - мм рт. ст. и скорость откачки ( по водороду) до 5000 л / сек.