Воспроизводимость параметров пленочных элементов в значительной степени зависит от свойств подложки. Размер зерна керамики, колебания ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Коледов Л.А. Гибридные интегральные микросхемы. Сер. Микроэлектроника. Кн.4


Воспроизводимость параметров пленочных элементов в значительной степени зависит от свойств подложки. Размер зерна керамики, колебания толщин подложек влияют на разброс сопротивлений пленочных резисторов. Шероховатость поверхности, число и состав присадок керамической шихты определяют адгезию пленок к подложке. Коэффициенты термического линейного расширения материалов подложки и стекол, входящих в состав паст, должны иметь близкие значения во избежание разрушения пленочных элементов и снижения дрейфа их параметров.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Воспроизводимость параметров пленочных элементов в значительной степени зависит от свойств подложки.  Размер зерна керамики,  колебания толщин подложек влияют на разброс сопротивлений пленочных резисторов.  Шероховатость поверхности,  число и состав присадок керамической шихты определяют адгезию пленок к подложке.  Коэффициенты термического линейного расширения материалов подложки и стекол,  входящих в состав паст,  должны иметь близкие значения во избежание разрушения пленочных элементов и снижения дрейфа их параметров.