Воспроизводимость параметров пленочных элементов в значительной степени зависит от свойств подложки. Размер зерна керамики, колебания ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Коледов Л.А.
Гибридные интегральные микросхемы. Сер. Микроэлектроника. Кн.4
Воспроизводимость параметров пленочных элементов в значительной степени зависит от свойств подложки. Размер зерна керамики, колебания толщин подложек влияют на разброс сопротивлений пленочных резисторов. Шероховатость поверхности, число и состав присадок керамической шихты определяют адгезию пленок к подложке. Коэффициенты термического линейного расширения материалов подложки и стекол, входящих в состав паст, должны иметь близкие значения во избежание разрушения пленочных элементов и снижения дрейфа их параметров.