Фотошаблон представляет собой толстую стеклянную пластину, на одной из сторон которой нанесена тонкая непрозрачная пленка ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Бакалов В.П.
Основы теории электрических цепей и электроники Учебник для вузов
Фотошаблон представляет собой толстую стеклянную пластину, на одной из сторон которой нанесена тонкая непрозрачная пленка с необходимым рисунком в виде прозрачных для света участков-окон. Эти окна в масштабе 1: 1 соответствуют будущим элементам ИС. Поскольку ИС изготавливаются групповым методом, на фотошаблоне разрешается множество однотипных рисунков. Размер каждого рисунка соответствует размеру будущего кристалла ИС.