Ассоциация не влияет на сте-хиометрическое соотношение составляющих, тогда как диссоциация обычно сильно влияет на него, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 1


Ассоциация не влияет на сте-хиометрическое соотношение составляющих, тогда как диссоциация обычно сильно влияет на него, что особенно проявляется, если один из продуктов диссоциации является нелетучим. Последний случай соответствует термическому разложению и исключает возможность применения непосредственного испарения. Таким образом, осаждение пленок соединений из одного испарителя возможно только в том случае, если вещество переходит в газообразное состояние в виде неразложенных молекул или если продукты разложения обладают одинаковой летучестью. Если это условие выполняется, то говорят о согласованном испарении. В табл. 10 приведены некоторые сведения о ряде соединений, которые могут быть испарены непосредственно и представляют практический интерес. Различные механизмы испарения будут рассмотрены далее.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Ассоциация не влияет на сте-хиометрическое соотношение составляющих,  тогда как диссоциация обычно сильно влияет на него,  что особенно проявляется,  если один из продуктов диссоциации является нелетучим.  Последний случай соответствует термическому разложению и исключает возможность применения непосредственного испарения.  Таким образом,  осаждение пленок соединений из одного испарителя возможно только в том случае,  если вещество переходит в газообразное состояние в виде неразложенных молекул или если продукты разложения обладают одинаковой летучестью.  Если это условие выполняется,  то говорят о согласованном испарении.  В табл. 10 приведены некоторые сведения о ряде соединений,  которые могут быть испарены непосредственно и представляют практический интерес.  Различные механизмы испарения будут рассмотрены далее.