Выдержка из книги
Хамакава И.N.
Аморфные полупроводники и приборы на их основе
Введение в газовую смесь SiF4 - Н2 легирующих компонентов ( РН3 дли PF) дает возможность получать мк - Si: F: H в тех же условиях, в которых нелегированные пленки остаются аморфными.
