Улучшение кристаллической структуры пленки может быть также получено образованием текстуры, обусловленной направленным поступлением атомов пара ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майоров С.А. Технология производства вычислительных машин


Улучшение кристаллической структуры пленки может быть также получено образованием текстуры, обусловленной направленным поступлением атомов пара на конденсирующую поверхность. Румш и Зимкина [24] наблюдали одностепенную ориентировку, или так называемую осевую текстуру.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Улучшение кристаллической структуры пленки может быть также получено образованием текстуры,  обусловленной направленным поступлением атомов пара на конденсирующую поверхность.  Румш и Зимкина [24] наблюдали одностепенную ориентировку,  или так называемую осевую текстуру.