Механическая обработка поверхности полупроводника вызывает сильные нарушения в кристаллической структуре, в результате чего образуется большое ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пасынков В.В.
Полупроводниковые приборы
Механическая обработка поверхности полупроводника вызывает сильные нарушения в кристаллической структуре, в результате чего образуется большое число ловушек и скорость поверхностной рекомбинации возрастает. Травление поверхности удаляет нарушенный механической обработкой слой и приводит к снижению скорости поверхностной рекомбинации, при этом надо еще учитывать возможные изменения величины поверхностного потенциала.