Питание лучше всего подводить безконтактным способом, что исключает загрязнение объекта травления продуктами разрушения электродов. Для ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Кузнецов Е.В. Практикум по химии и физике полимеров


Питание лучше всего подводить безконтактным способом, что исключает загрязнение объекта травления продуктами разрушения электродов. Для этого электроды крепят на внешней поверхности стеклянного колпака. Расстояние от электродов до образца устанавливают с учетом предотвращения поглощения им энергии внешнего высокочастотного поля за счет диэлектрических потерь.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Питание лучше всего подводить безконтактным способом,  что исключает загрязнение объекта травления продуктами разрушения электродов.  Для этого электроды крепят на внешней поверхности стеклянного колпака.  Расстояние от электродов до образца устанавливают с учетом предотвращения поглощения им энергии внешнего высокочастотного поля за счет диэлектрических потерь.