Для катодного распыления полоску металла или другого материала подвергают бомбардировке положительными ионами в газовом разряде, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Шумский К.П.
Вакуумные аппараты и приборы химического машиностроения Издание 2
Для катодного распыления полоску металла или другого материала подвергают бомбардировке положительными ионами в газовом разряде, что вызывает распыление атомов металла.
