Разная скорость окисления поверхностей образцов, имеющих разную кристаллографическую ориентацию зерен, говорит о наличии анизотропии диффузии ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Труды Н.С.
Высокотемпературные покрытия
Разная скорость окисления поверхностей образцов, имеющих разную кристаллографическую ориентацию зерен, говорит о наличии анизотропии диффузии кремния в решетке силицида, приводящей и к анизотропии окисления при малых толщинах окисной пленки. Меньшая скорость окисления при текстуре [001] перпендикулярно поверхности по сравнению с [100] указывает на более быструю диффузию кремния в направлении [100], протекающую по узлам собственной подрешетки.
![Разная скорость окисления поверхностей образцов, имеющих разную кристаллографическую ориентацию зерен, говорит о наличии анизотропии диффузии кремния в решетке силицида, приводящей и к анизотропии окисления при малых толщинах окисной пленки. Меньшая скорость окисления при текстуре [001] перпендикулярно поверхности по сравнению с [100] указывает на более быструю диффузию кремния в направлении [100], протекающую по узлам собственной подрешетки.](/pic/1994294mqSZNml0031207108.png)