Фотошаблон представляет собой толстую стеклянную пластину, на одной из сторон которой нанесена тонкая непрозрачная пленка ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Бакалов В.П. Основы теории электрических цепей и электроники


Фотошаблон представляет собой толстую стеклянную пластину, на одной из сторон которой нанесена тонкая непрозрачная пленка с необходимым рисунком в виде прозрачных для света участков-окон. Эти окна в масштабе 1: 1 соответствуют будущим элементам ИС. Поскольку ИС изготавливаются групповым методом, на фотошаблоне разрешается множество однотипных рисунков. Размер каждого рисунка соответствует размеру будущего кристалла ИС.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Фотошаблон представляет собой толстую стеклянную пластину,  на одной из сторон которой нанесена тонкая непрозрачная пленка с необходимым рисунком в виде прозрачных для света участков-окон.  Эти окна в масштабе 1: 1 соответствуют будущим элементам ИС.  Поскольку ИС изготавливаются групповым методом,  на фотошаблоне разрешается множество однотипных рисунков.  Размер каждого рисунка соответствует размеру будущего кристалла ИС.