Авторы работы [167] изучили структуру эпитаксиальных пленок кремния непосредственно в процессе их отжига в электронном ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Эпитаксиальные пленки
Авторы работы [167] изучили структуру эпитаксиальных пленок кремния непосредственно в процессе их отжига в электронном микроскопе при температуре до 1200 С в вакууме 10 - 4 мм рт. ст. Ниже 700 С никаких изменений плотности дефектов упаковки не происходит. При более высоких температурах ( 700 - 1200 С)) наблюдается частичный отжиг дефектов. Он происходит путем мгновенного исчезновения наблюдаемого несовершенства.
![Авторы работы [167] изучили структуру эпитаксиальных пленок кремния непосредственно в процессе их отжига в электронном микроскопе при температуре до 1200 С в вакууме 10 - 4 мм рт. ст. Ниже 700 С никаких изменений плотности дефектов упаковки не происходит. При более высоких температурах ( 700 - 1200 С)) наблюдается частичный отжиг дефектов. Он происходит путем мгновенного исчезновения наблюдаемого несовершенства.](/pic/2030287o2NAJhB0011261431.png)