Кроме того, эпитаксиальные пленки кремния должны удовлетворять весьма жестким требованиям по равномерности толщины и ровности ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Медведев С.А. Введение в технологию полупроводниковых материалов


Кроме того, эпитаксиальные пленки кремния должны удовлетворять весьма жестким требованиям по равномерности толщины и ровности их поверхности. Весь указанный комплекс параметров должен быть управляемым, и первой задачей является, очевидно, выбор метода нанесения эпитаксиальных пленок кремния, поскольку каждый возможный метод характеризуется своими, ему присущими, возможностями управления технологическими факторами процесса.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Кроме того, эпитаксиальные пленки кремния должны удовлетворять весьма жестким требованиям по равномерности толщины и ровности их поверхности. Весь указанный комплекс параметров должен быть управляемым, и первой задачей является, очевидно, выбор метода нанесения эпитаксиальных пленок кремния, поскольку каждый возможный метод характеризуется своими, ему присущими, возможностями управления технологическими факторами процесса.