При изготовлении различных элементов приборов часто возникает необходимость получать диэлектрическую пленку контролируемой толщины. Для распыления ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Манойлов В.Е.
Приборы контроля окружающей среды
При изготовлении различных элементов приборов часто возникает необходимость получать диэлектрическую пленку контролируемой толщины. Для распыления диэлектриков применяют так называемое высокочастотное распыление. Процесс характеризуется тем, что потенциал поверхности мишеней автоматически оказывается отрицательным по отношению к разряду, что приводит к бомбардировке мишени положительными ионами плазмы. Благодаря большой универсальности и другим достоинствам этот метод находит все большее применение.
