Процесс образования зародышей и степень совершенства эпитаксиальных пленок кремния определяются поверхностными условиями, кристаллографической ориентацией подложки, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Палатник Л.С.
Эпитаксиальные пленки
Процесс образования зародышей и степень совершенства эпитаксиальных пленок кремния определяются поверхностными условиями, кристаллографической ориентацией подложки, интенсивностью потока и температурой подложки.
