Выдержка из книги
Данилин Б.С.
Вакуумное нанесение тонких пленок
В малых откачных системах давление обычно падает настолько быстро, что преодоление пика мощности не вызывает затруднения. Однако в больших откачных системах газовыделение может быть столь значительным, что могут возникнуть затруднения в переходе через пик кривой изменения мощности.
