Кинетика анодного растворения кремния во многом подобна рассмотренной кинетике растворения германия, но имеет некоторые особенности, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Пичугин И.Г. Технология полупроводниковых приборов


Кинетика анодного растворения кремния во многом подобна рассмотренной кинетике растворения германия, но имеет некоторые особенности, связанные с химической устойчивостью его оксида в водных растворах. Если оксидная пленка удалена, кинетика анодного растворения кремния определяется, как и германия, концентрацией дырок на поверхности. Электродные характеристики кремния в электролите отличаются от электродных характеристик германия только количественно. Дырки, необходимые для перевода в раствор атомов кремния, возникают в основном за счет генераций на. Диффузия дырок из объема в этом случае играет существенно меньшую роль.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Кинетика анодного растворения кремния во многом подобна рассмотренной кинетике растворения германия, но имеет некоторые особенности, связанные с химической устойчивостью его оксида в водных растворах. Если оксидная пленка удалена, кинетика анодного растворения кремния определяется, как и германия, концентрацией дырок на поверхности. Электродные характеристики кремния в электролите отличаются от электродных характеристик германия только количественно. Дырки, необходимые для перевода в раствор атомов кремния, возникают в основном за счет генераций на. Диффузия дырок из объема в этом случае играет существенно меньшую роль.