Основным недостатком многолучевых микроинтерферометров по схеме Физо является малая апертура объектива микроскопа. Объектив большой апертуры ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Новицкий Л.А. Лабораторные оптические приборы Издание 2


Основным недостатком многолучевых микроинтерферометров по схеме Физо является малая апертура объектива микроскопа. Объектив большой апертуры нельзя применять в этой схеме потому, что он имеет малый рабочий отрезок и в его пределах нельзя разместить эталонную пластинку. Малая же апертура объектива дает низкую разрешающую способность, поэтому МИИ-11 нельзя применять для точных измерений микронеровностей, шаг которых меньше предела разрешения.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Основным недостатком многолучевых микроинтерферометров по схеме Физо является малая апертура объектива микроскопа. Объектив большой апертуры нельзя применять в этой схеме потому, что он имеет малый рабочий отрезок и в его пределах нельзя разместить эталонную пластинку. Малая же апертура объектива дает низкую разрешающую способность, поэтому МИИ-11 нельзя применять для точных измерений микронеровностей, шаг которых меньше предела разрешения.