Компоненты растворяют в 100 мл о-ксилола и полученный светочувствительный состав наносят на подложку центрифугированием, сушат ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Беднарж Б.N. Светочувствительные полимерные материалы


Компоненты растворяют в 100 мл о-ксилола и полученный светочувствительный состав наносят на подложку центрифугированием, сушат при 60 С, облучают через диапозитив лампой ДРШ-250, засвечивают и проявляют ксилолом или уайт-спиритом. Диффузию проводят при 1300 С в течение 4 ч на воздухе в пластины p - Si с удельным объемным электрическим сопротивлением р 50 Ом см. Полученный р - n - переход имеет вольт-амперную характеристику, близкую к теоретической, и время жизни 10 мкс. Поверхностная концентрация 1015 - 1018 атом / см3 зависит от концентрации ароматического азида и режима диффузии [ а. Подобные же азидсодержащие элементорганиче-ские композиции описаны для селективного легирования полупроводниковых пластин мышьяком [ а. Диффузию из фоторезиста в этом случае проводят на воздухе при 1250 С, полученные р-п переходы также имеют время жизни неосновных носителей порядка 8 - 10 мкс.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Компоненты растворяют в 100 мл о-ксилола и полученный светочувствительный состав наносят на подложку центрифугированием,  сушат при 60 С,  облучают через диапозитив лампой ДРШ-250,  засвечивают и проявляют ксилолом или уайт-спиритом.  Диффузию проводят при 1300 С в течение 4 ч на воздухе в пластины p - Si с удельным объемным электрическим сопротивлением р 50 Ом см. Полученный р - n - переход имеет вольт-амперную характеристику,  близкую к теоретической,  и время жизни 10 мкс.  Поверхностная концентрация 1015 - 1018 атом / см3 зависит от концентрации ароматического азида и режима диффузии [ а.  Подобные же азидсодержащие элементорганиче-ские композиции описаны для селективного легирования полупроводниковых пластин мышьяком [ а.  Диффузию из фоторезиста в этом случае проводят на воздухе при 1250 С,  полученные р-п переходы также имеют время жизни неосновных носителей порядка 8 - 10 мкс.