Отжиг в течение 30 мин при Т - 850 С в воздухе также уменьшает удельное ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Киреев В.Ю. Мир электроники технологии микроэлектроники Химическое осаждение из газовой фазы


Отжиг в течение 30 мин при Т - 850 С в воздухе также уменьшает удельное сопротивление легированных пленок поликремния за счет перевода атомов легирующей примеси в электрически активное состояние.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Отжиг в течение 30 мин при Т - 850 С в воздухе также уменьшает удельное сопротивление легированных пленок поликремния за счет перевода атомов легирующей примеси в электрически активное состояние.