Возможность вести процесс с максимальной производительностью, автоматически учитывая происходящие отклонения технологических параметров, свойств исходных материалов ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пичугин И.Г.
Технология полупроводниковых приборов
Возможность вести процесс с максимальной производительностью, автоматически учитывая происходящие отклонения технологических параметров, свойств исходных материалов и полуфабрикатов, изменения в окружающей среде, ошибки операторов.