Анодно-механическую обработку применяют и при локальном профилировании поверхности с использованием защитных масок из диоксида или ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Пичугин И.Г. Технология полупроводниковых приборов


Анодно-механическую обработку применяют и при локальном профилировании поверхности с использованием защитных масок из диоксида или нитрида кремния, предварительно обработанных фотолитографическими методами.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

 Анодно-механическую обработку применяют и при локальном профилировании поверхности с использованием защитных масок из диоксида или нитрида кремния,  предварительно обработанных фотолитографическими методами.