Анодно-механическую обработку применяют и при локальном профилировании поверхности с использованием защитных масок из диоксида или ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Пичугин И.Г.
Технология полупроводниковых приборов
Анодно-механическую обработку применяют и при локальном профилировании поверхности с использованием защитных масок из диоксида или нитрида кремния, предварительно обработанных фотолитографическими методами.