Таким образом, предельное разрешение, которое может быть достигнуто в фотолитографии при оптимизации совокупной оптической системы, ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Беднарж Б.N. Светочувствительные полимерные материалы


Таким образом, предельное разрешение, которое может быть достигнуто в фотолитографии при оптимизации совокупной оптической системы, лежит в пределах 0 4 - 0 6 мкм [38]; достижение этих значений возможно при использовании коротковолновой области УФ излуиечия v учета важнейших факторов, влияющих на качество результирующего изображения.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Таким образом, предельное разрешение, которое может быть достигнуто в фотолитографии при оптимизации совокупной оптической системы, лежит в пределах 0 4 - 0 6 мкм [38]; достижение этих значений возможно при использовании коротковолновой области УФ излуиечия v учета важнейших факторов, влияющих на качество результирующего изображения.