При температуре выше 1100 С от качества обработки поверхности подложки зависит монокристалличность пленки. Необходимым условием ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Медведев С.А.
Введение в технологию полупроводниковых материалов
При температуре выше 1100 С от качества обработки поверхности подложки зависит монокристалличность пленки. Необходимым условием получения монокристаллических пленок является удаление с поверхности окисных пленок. Действительно, если сильно окислить подложку, а затем протравить в окисном слое окна и провести процесс наращивания эпитаксиальной пленки, то на окисленной поверхности образуется поликристаллический слой, а в окнах блестящее монокристаллическое покрытие.