Необходимо соблюдать много предосторожностей, чтобы быть уверенным в получении чистой поверхности. Хотя во избежание повреждения ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Баландин А.А. Катализ Физико-химия гетерогенного катализа


Необходимо соблюдать много предосторожностей, чтобы быть уверенным в получении чистой поверхности. Хотя во избежание повреждения поверхности нужно поддерживать низкие напряжение и силу тока, вместе с тем эти величины должны быть достаточными, чтобы воспрепятствовать возможному повторному загрязнению в ходе бомбардировки. Например, некоторые из электронов, образующихся в разряде, при ударе об анод высвобождают атомы газа, способные вновь загрязнить очищаемую поверхность. Следует быть осторожным при использовании электронного пучка для поддержания разряда. Если область разряда окружена электрически изолированной металлической оболочкой, то благодаря ионизации электронным пучком последняя может стать отрицательно заряженной, что вызовет распыление атомов с этой оболочки на очищенную поверхность. Во избежание этого следует поддерживать ускоряющее напряжение электронной пушки ниже порога распыления рассматриваемого вещества или же заменить изолированную оболочку на проводящий экран с потенциалом, равным анодному. При соответствующих условиях метод ионной бомбардировки позволяет получать чистые поверхности, если не считать внедрения в поверхность атомов аргона. Эти внедрения и повреждения поверхности в результате бомбардировки ликвидируют посредством надлежащего прогрева.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Необходимо соблюдать много предосторожностей, чтобы быть уверенным в получении чистой поверхности. Хотя во избежание повреждения поверхности нужно поддерживать низкие напряжение и силу тока, вместе с тем эти величины должны быть достаточными, чтобы воспрепятствовать возможному повторному загрязнению в ходе бомбардировки. Например, некоторые из электронов, образующихся в разряде, при ударе об анод высвобождают атомы газа, способные вновь загрязнить очищаемую поверхность. Следует быть осторожным при использовании электронного пучка для поддержания разряда. Если область разряда окружена электрически изолированной металлической оболочкой, то благодаря ионизации электронным пучком последняя может стать отрицательно заряженной, что вызовет распыление атомов с этой оболочки на очищенную поверхность. Во избежание этого следует поддерживать ускоряющее напряжение электронной пушки ниже порога распыления рассматриваемого вещества или же заменить изолированную оболочку на проводящий экран с потенциалом, равным анодному. При соответствующих условиях метод ионной бомбардировки позволяет получать чистые поверхности, если не считать внедрения в поверхность атомов аргона. Эти внедрения и повреждения поверхности в результате бомбардировки ликвидируют посредством надлежащего прогрева.