С ростом степени интеграции ИМС усложняется процедура производственного контроля их качества, а визуальные и электрические ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Козырь И.Я. Качество и надежность интегральных микросхем. Сер. Микроэлектроника. Кн.5


С ростом степени интеграции ИМС усложняется процедура производственного контроля их качества, а визуальные и электрические методы контроля параметров отдельных слоев после выполнения соответствующих операций становятся малоэффективными из-за их ограниченности. На основе данных существующего производственного контроля качества невозможно практически установить степень взаимного влияния контролируемых параметров и влияния каждого из них на выход годных БИС. Следовательно, визуальные и электрические методы контроля параметров отдельных слоев при изготовлении БИС недостаточно полно характеризуют технологический процесс в целом и тем самым - качество БИС. Поэтому в отечественной и зарубежной практике в последнее время для контроля качества ИМС, в первую очередь БИС и МСБ, как в процессе разработки ( см. § 2.1), так и при изготовлении применяют тестовый контроль.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

С ростом степени интеграции ИМС усложняется процедура производственного контроля их качества,  а визуальные и электрические методы контроля параметров отдельных слоев после выполнения соответствующих операций становятся малоэффективными из-за их ограниченности.  На основе данных существующего производственного контроля качества невозможно практически установить степень взаимного влияния контролируемых параметров и влияния каждого из них на выход годных БИС.  Следовательно,  визуальные и электрические методы контроля параметров отдельных слоев при изготовлении БИС недостаточно полно характеризуют технологический процесс в целом и тем самым  -  качество БИС.  Поэтому в отечественной и зарубежной практике в последнее время для контроля качества ИМС,  в первую очередь БИС и МСБ,  как в процессе разработки ( см. § 2.1),  так и при изготовлении применяют тестовый контроль.