Эпитаксиальные пленки кремния перспективны в микроэлектронике; их применяют при изготовлении герметизированных сопротивлений, тонкопленочных конденсаторов, биполярных ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Дриц М.Е.
Свойства элементов Справочник
Эпитаксиальные пленки кремния перспективны в микроэлектронике; их применяют при изготовлении герметизированных сопротивлений, тонкопленочных конденсаторов, биполярных и униполярных транзисторов, интегральных схем бытового и специального назначения.
