Рассмотрим детально механизм термического окисления кремния и кратко остановимся на других способах получения диэлектрических пленок ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Литовченко В.Г.
Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник
Рассмотрим детально механизм термического окисления кремния и кратко остановимся на других способах получения диэлектрических пленок на поверхности полупроводников.
