Предполагается, что при эпитаксии происходят комбинированные процессы. В дальнейшем это будет рассмотрено подробно. Как полагают ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Майссела Л.N. Технология тонких пленок Часть 2


Предполагается, что при эпитаксии происходят комбинированные процессы. В дальнейшем это будет рассмотрено подробно. Как полагают Родин и Вальтон [16, 17], наиболее важным для процесса эпитаксиального роста является вклад предпочтительного зародышеобразования и роста зародышей Однако по отношению к указанному выше фактору во время коалесценции значение предпочтительной рекристаллизации в образовании эпитаксиальной пленки может быть наиболее важным [23, 24] Хотя такие воззрения и не являются достаточными для объяснения всех экспериментально наблюдаемых картин эпитаксиального роста, однако они могут быть основой для развития более глубокого понимания процесса эпитаксиального роста.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Предполагается,  что при эпитаксии происходят комбинированные процессы.  В дальнейшем это будет рассмотрено подробно.  Как полагают Родин и Вальтон [16, 17],  наиболее важным для процесса эпитаксиального роста является вклад предпочтительного зародышеобразования и роста зародышей Однако по отношению к указанному выше фактору во время коалесценции значение предпочтительной рекристаллизации в образовании эпитаксиальной пленки может быть наиболее важным [23, 24] Хотя такие воззрения и не являются достаточными для объяснения всех экспериментально наблюдаемых картин эпитаксиального роста,  однако они могут быть основой для развития более глубокого понимания процесса эпитаксиального роста.