Предполагается, что при эпитаксии происходят комбинированные процессы. В дальнейшем это будет рассмотрено подробно. Как полагают ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Майссела Л.N.
Технология тонких пленок Часть 2
Предполагается, что при эпитаксии происходят комбинированные процессы. В дальнейшем это будет рассмотрено подробно. Как полагают Родин и Вальтон [16, 17], наиболее важным для процесса эпитаксиального роста является вклад предпочтительного зародышеобразования и роста зародышей Однако по отношению к указанному выше фактору во время коалесценции значение предпочтительной рекристаллизации в образовании эпитаксиальной пленки может быть наиболее важным [23, 24] Хотя такие воззрения и не являются достаточными для объяснения всех экспериментально наблюдаемых картин эпитаксиального роста, однако они могут быть основой для развития более глубокого понимания процесса эпитаксиального роста.