Анализируя механизм термического окисления кремния, Ямазаки [113] приходит к выводу, что из-за неравномерного фронта окисления ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Вавилов В.С.
Дефекты в кремнии и на его поверхности
Анализируя механизм термического окисления кремния, Ямазаки [113] приходит к выводу, что из-за неравномерного фронта окисления и избыточной концентрации атомов Si вблизи границы раздела кремний-оксид возможно образование микроскопических кластеров самого кремния. При высокой скорости окисления ( - 1 нм мин 1) иа границе раздела возникали кластеры Si размером 1 5 - 5 нм, частично погребенные в кремниевую матрицу.
![Анализируя механизм термического окисления кремния, Ямазаки [113] приходит к выводу, что из-за неравномерного фронта окисления и избыточной концентрации атомов Si вблизи границы раздела кремний-оксид возможно образование микроскопических кластеров самого кремния. При высокой скорости окисления ( - 1 нм мин 1) иа границе раздела возникали кластеры Si размером 1 5 - 5 нм, частично погребенные в кремниевую матрицу.](/pic/2466714qgCQ01v0005207462.png)