Пограничная диффузионная область между пленками толщиной 110 нм представляет собой метастабильный пересыщенный раствор Ag-Al. Отжиг ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Палатник Л.С. Материаловедение в микроэлектронике


Пограничная диффузионная область между пленками толщиной 110 нм представляет собой метастабильный пересыщенный раствор Ag-Al. Отжиг его приводит к выделению иитерметаллида AgjAl. Одним из важных последствий выделения частиц новой фазы являются быстрый сток к ним избыточных вакансий н прекращение начальной диффузии. В системах, в которых избыточные вакансии быстро покидают объем блоков-кристаллитов, начальная диффузия наблюдается слабо или отсутствует. Исследование двухслойных эпитаксиальных пленок Au - Pd выявляет микроскопический механизм компенсации напряжений и несоответствия периодов решеток внутри - и вне диффузионной зоны.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Пограничная диффузионная область между пленками толщиной 110 нм представляет собой метастабильный пересыщенный раствор Ag-Al. Отжиг его приводит к выделению иитерметаллида AgjAl. Одним из важных последствий выделения частиц новой фазы являются быстрый сток к ним избыточных вакансий н прекращение начальной диффузии. В системах, в которых избыточные вакансии быстро покидают объем блоков-кристаллитов, начальная диффузия наблюдается слабо или отсутствует. Исследование двухслойных эпитаксиальных пленок Au - Pd выявляет микроскопический механизм компенсации напряжений и несоответствия периодов решеток внутри - и вне диффузионной зоны.