В анализе процессов роста полупроводниковых кристаллов и кристаллических пленок из газовой фазы важную роль играет ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Александров Л.И.
Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок Часть 1
В анализе процессов роста полупроводниковых кристаллов и кристаллических пленок из газовой фазы важную роль играет расчет равновесного состава газовой фазы по заданным температуре, давлению и термодинамическим характеристикам соединений, участвующих в процессах.
