Выдержка из книги
Пасынков В.В.
Полупроводниковые приборы
Время травления составляет 90 - 120 сек. Контроль толщины полученной области базы осуществляется по времени ( предварительно определяется время на протравливание сквозного отверстия в той же пластинке), а также по поглощению инфракрасных лучей. Последний метод дает возможность автоматизировать процесс.
