В зависимости от парциального давления реактивного газа реакция образования соединения может протекать либо на катоде ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа
Выдержка из книги
Гимпельсон В.Д.
Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники
В зависимости от парциального давления реактивного газа реакция образования соединения может протекать либо на катоде ( и тогда на подложку распыляется готовое соединение), либо на подложке в процессе образования пленки.
