Поскольку большинство резистивных сплавов имеют высокую адгезию к ситаллу, целесообразно фотолитографию по резистивному слою выполнять ... - Большая Энциклопедия Нефти и Газа



Выдержка из книги Парфенов О.Д. Технология микросхем


Поскольку большинство резистивных сплавов имеют высокую адгезию к ситаллу, целесообразно фотолитографию по резистивному слою выполнять после напыления через трафарет-маску проводников и контактов.

(cкачать страницу)

Смотреть книгу на libgen

Поскольку большинство резистивных сплавов имеют высокую адгезию к ситаллу,  целесообразно фотолитографию по резистивному слою выполнять после напыления через трафарет-маску проводников и контактов.